碳化硅激光退火設(shè)備
本設(shè)備用于碳化硅的歐姆退火工藝,具備裸片自動上下料、晶圓自動校準(zhǔn)等功能。 加工工藝效果優(yōu)異;加工效率高;設(shè)備運(yùn)行無需耗材,加工成本較低。
■ 設(shè)備優(yōu)勢
◆ 激光器自制,自主可控
◆ 工藝窗口較廣,可兼容其他材料的退火要求
◆ 符合SEMI行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)
■ 應(yīng)用領(lǐng)域
應(yīng)用于碳化硅晶圓片的背金激光退火(以碳化硅材料為基板的晶圓)。
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