TGV玻璃激光微孔設(shè)備
主要利用激光進行誘導(dǎo)不同材質(zhì)0.1-1mm厚晶圓玻璃的微孔加工（TGV），可實現(xiàn)各種尺寸盲孔、圓錐（通）孔制備。
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電子郵箱：contact@delphilaser.com■ 設(shè)備參數(shù)
產(chǎn)品材質(zhì) | 熔融石英、AF32等 |
產(chǎn)品厚度 | 0.1-1mm |
最小孔徑 | 30μm@玻璃厚度200-300μm |
加工精度 | ±5μm，CPK＞1.33 |
晶圓尺寸 | 6"&8"/8"&12" |
Load Port | Bare wafer Load Port*1 |
X-Y Table Accuracy | ±2μm |
■ 應(yīng)用領(lǐng)域
用于玻璃通孔（TGV）、玻璃鉆孔等
■ 加工效果示例圖
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